表面三豐粗糙度測(cè)量?jī)x工作原理：電感傳感器是輪廓儀的主要部件之一，在傳感器測(cè)桿的一端裝有金剛石觸針，觸針尖端曲率半徑很小，測(cè)量時(shí)將觸針搭在工件上，與被測(cè)表面垂直接觸，利用驅(qū)動(dòng)器以一定的速度拖動(dòng)傳感器。由于被測(cè)表面輪廓峰谷起伏，觸狀在被測(cè)表面滑行時(shí)，將產(chǎn)生上下移動(dòng)。

       三豐粗糙度測(cè)量?jī)x測(cè)針在此運(yùn)動(dòng)經(jīng)支點(diǎn)使磁芯同步地上下運(yùn)動(dòng)，從而使包圍在磁芯外面的兩個(gè)差動(dòng)電感線圈的電感量發(fā)生變化。傳感器的線圈與測(cè)量線路是直接接入平衡電橋的，線圈電感量的變化使電橋失去平衡，于是就輸出一個(gè)和觸針上下的位移量成正比的信號(hào)，經(jīng)電子裝置將這一微弱電量的變化放大、相敏檢波后，獲得能表示觸針位移量大小和方向的信號(hào)。此后，將信號(hào)分成三路：一路加到指零表上，以表示觸針的位置，一路輸至直流功率放大器，放大后推動(dòng)記錄器進(jìn)行記錄；另一路經(jīng)濾波和平均表放大器放大之后，進(jìn)入積分計(jì)算器，進(jìn)行積分計(jì)算，即可由指示表直接讀出表面粗糙度Ra值。表面粗糙度測(cè)量?jī)x是評(píng)定零件表面質(zhì)量的臺(tái)式粗糙度儀。可對(duì)多種零件表面的粗糙度進(jìn)行測(cè)量，包括平面、斜面、外圓柱面，內(nèi)孔表面，深槽表面及軸承滾道等，實(shí)現(xiàn)了表面粗糙度的多功能精密測(cè)量。表面粗糙度的測(cè)量方法基本上可分為接觸式測(cè)量和非接觸式測(cè)量?jī)深?lèi)。在接觸式測(cè)量中主要有比較法、印模法、觸針?lè)ǖ?；非接觸測(cè)量方式中常用的有光切法、實(shí)時(shí)全息法、散斑法、像散測(cè)定法、光外差法、AFM、光學(xué)傳感器法等。

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